真空中，緩解靜電的氣體成分很少，因此靜電比在大氣壓環(huán)境中更能引起嚴重的生產(chǎn)問題。
真空對應靜電勢傳感器由可在真空環(huán)境中使用的材料和組件制成，可用于測量真空中產(chǎn)生的靜電。 它應用于確定真空過程中產(chǎn)生靜電的原因，并持續(xù)監(jiān)測靜電電位。