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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP

發(fā)布時間:2025/07/04 13:46:20 發(fā)布廠商:高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺

ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP

ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP

低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。

此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。

ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U8HSP

在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。

長處

非常適合濺射工藝。

氬氣的排量約為傳統(tǒng)型號 (U8H) 的 2.5 倍。

氫氣的抽速約為傳統(tǒng)型號 (U8H) 的 1.2 倍。

再生間隔更長,有助于提高設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)率。

可進(jìn)行多次作(*多 3 臺)。

隔膜式干式真空泵

DTC-22

DTC-22A

DTC-22B

DTC-22C

DTC-41

DTC-41C

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DTC-41KC

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DTC-120

DTC-120D

DTC-120E

規(guī)范

抽速 (20°C) L/s 1,700
3,200
1,400
4,000
極限壓力 帕(托) 10-7(10-9)
*流量 Pa?L/s(Torr?L/s) 1,2×103(8.9)
2.4×10%2(1.8)
排氣量 Pa?L (Torr?L) 2,5×108(1.9×106)
1.0×106(7.8×10)3)
冷卻下降時間
(電源循環(huán))
*小(Hz) 125/115(50/60)
進(jìn)氣法蘭 UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機(jī)組 C10T、C10AT
質(zhì)量 公斤 33.2
ULVAC(愛發(fā)科)是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè),ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域,為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

ULVAC愛發(fā)科
低溫泵
CRYO-U8HSP
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