ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U4H

ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U4H

低溫泵是一種伸縮式真空泵，旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上，并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。

此外，值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。

在考慮安裝低溫泵時，其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。

長處

它是一種 4 型低溫泵，可提供*的排氣特性。

高抽速有助于提高抽速和生產(chǎn)率。

它特別適用于半導體制造設備和小型設備的濺射工藝。

一臺壓縮機*多可以運行四個泵。

可根據(jù)用途設計制造。

MS120A MS600A MS1200A

LS120A-C

LS120A-L

LS300A-C

LS300A-L

LS600A-C

LS600A-L

LS1200A-C

LS1200A-L

多級羅茨干式真空泵

HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 UR600 UR421-T UR1200 UR1800

UR3601-TT

機械增壓泵 PRC-003A PRC-006A PRC-012A

規(guī)范

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術支持。
2. 核心技術及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。