ULVAC愛(ài)發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS1501

ULVAC愛(ài)發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS1501

型號(hào)：VS1501/VS2401 是一款旋片式（單級(jí)）油旋轉(zhuǎn)真空泵。 水冷和強(qiáng)制潤(rùn)滑系統(tǒng)即使在高負(fù)載下也能提供穩(wěn)定的排氣性能。

此外，它的設(shè)計(jì)考慮到了易于維護(hù)，例如使用大型油位計(jì)。

長(zhǎng)處

采用水冷強(qiáng)制潤(rùn)滑系統(tǒng)即使在高負(fù)荷運(yùn)行時(shí)也能滿足氣缸的

供油量，與差壓潤(rùn)滑系統(tǒng)相比，獲得了穩(wěn)定的排氣性能。

使用液壓油防袋當(dāng)泵停止時(shí)

，可以抑制油從油箱回流到進(jìn)氣側(cè)。

考慮到維護(hù)的設(shè)計(jì)

除了采用易于監(jiān)控油況的大型油位計(jì)外，它還具有用于清潔油箱和更換排氣閥的維護(hù)罩。

用

光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設(shè)備

裝飾氣相沉積設(shè)備

薄膜收卷和沉積設(shè)備

在線濺射設(shè)備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設(shè)備

泄漏測(cè)試設(shè)備

太空室

規(guī)范

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。