ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計 SP1

ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計 SP1

傳感器單元 SP1 是一種傳感器型皮拉尼真空計，其中集成了測量元件和電路，可節(jié)省成本和空間。

長處

節(jié)省成本和空間的傳感器類型

燈絲材料由鉑制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。

2 個設定點輸出，測量元件輸出：DC0~5V（非線性輸出）

電源電壓：DC24V 輸入

用

用于半導體和電子元件等各種制造設備的低真空范圍內(nèi)的過程控制

用于窯爐和其他工業(yè)設備的低真空范圍內(nèi)的過程控制

用于具有許多工藝腔室的各種制造設備（如在線和單晶片）的低真空范圍內(nèi)的過程控制

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。