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千級(jí)電子廠廠房環(huán)境檢測(cè) 注意事項(xiàng)--安衡檢測(cè)
目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。
壓差檢測(cè)要求:(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測(cè)到直通室外的房間。 (3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可,測(cè)管口面與氣流流線平行。 (4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)到 1.0Pa。無(wú)塵車間潔凈度檢測(cè)空態(tài)是指設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運(yùn)行但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員
電子廠廠房環(huán)境檢測(cè) 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個(gè)較大值:保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。
消毒產(chǎn)品車間:(消毒車間潔凈度驗(yàn)收、消字號(hào)車間潔凈度報(bào)告)
為確認(rèn)A級(jí)潔凈區(qū)的級(jí)別,每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不得少于1立方米。A級(jí)潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 4.8,以≥5.0μm的懸浮粒子為限度標(biāo)準(zhǔn)。B級(jí)潔凈區(qū)(靜態(tài))的空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 5,同時(shí)包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對(duì)于C級(jí)潔凈區(qū)(靜態(tài)和動(dòng)態(tài))而言,空氣懸浮粒子的級(jí)別分別為ISO 7和ISO 8。對(duì)于D級(jí)潔凈區(qū)(靜態(tài))空氣懸浮粒子的級(jí)別為ISO 8。測(cè)試方法可參照ISO14644-1。
靜態(tài)檢測(cè)時(shí),萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵室的噪音級(jí)不能出60分貝A。
安衡檢測(cè)技術(shù)服務(wù)有限公司主要經(jīng)營(yíng)生物安全柜、潔凈工作臺(tái)、生物安全實(shí)驗(yàn)室、潔凈室、醫(yī)院手術(shù)室、中央空調(diào)的環(huán)境檢測(cè)服務(wù)及實(shí)驗(yàn)儀器的技術(shù)服務(wù);清潔服務(wù);消毒服務(wù);室內(nèi)環(huán)境檢測(cè);大氣環(huán)境污染防治服務(wù),我們有好的產(chǎn)品和*的銷售和技術(shù)團(tuán)隊(duì),如果您對(duì)我公司的產(chǎn)品服務(wù)有興趣,期待您在線留言或者來(lái)電咨詢sxanhengjc
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