任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤(rùn)滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設(shè)計(jì)使渦輪分子泵能夠安裝在移動(dòng)設(shè)備或運(yùn)動(dòng)部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號(hào)。

潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產(chǎn)品陣容

TG2400F

■ 任何方向

■ 緊湊的尺寸

■ 節(jié)能

■ 快速啟動(dòng)

■ 帶排氣口快速關(guān)閉

■ 用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 通過(guò)安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL/SEMI-S2/CE

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測(cè)設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究與開(kāi)發(fā)

*如果排出腐蝕性氣體，請(qǐng)選擇我們的化學(xué)用TG-M或TG系列。

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

Model

TG2400F

TG2400F-40

Inlet flange

VG250/ISO-B250

Volume flow rate

N2 (L/s)

2400

N(with protective screen)

(L/s)

2300

H2 (L/s)

1100

Max. compression ratio

N2

1×108

H2

1.4×103

Base pressure

(Pa/Torr)

<1×10-6/<7.5×10-9

Max. throughput※1※2

(sccm)

900

1500

Startup time

(min)

5-7

Shutdown time

(min)

15-18

Max. backing pressure

(Pa/Torr)

200/1.5

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧500

Position

Any orientation

Weight (kg)

Air cooling

Water cooling

45

47

Controller

TC2403

TC2403-10※3

*1 ： 使用1000L/min的前級(jí)真空泵時(shí)*
2 ： 因電源型號(hào)而異。
*3 ： TG2400F-40

[使用環(huán)境溫度]

確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對(duì)應(yīng)氣體]

一些使用氣體會(huì)使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請(qǐng)聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。