油潤(rùn)滑型TG系列

使用油潤(rùn)滑滾珠軸承。化學(xué)用途型號(hào)有 200 L/s 至 5500 L/s 的每個(gè)級(jí)別，用于排放腐蝕性氣體的應(yīng)用。

油潤(rùn)滑球軸承型渦輪分子泵的截面

產(chǎn)品陣容

TG553型

■腐蝕性氣體的耐腐蝕型。

■經(jīng)久耐用的結(jié)構(gòu)，適合涌入空氣。

■堅(jiān)固，耐外部沖擊。

■串行通信
※RS232C串行接口

■符合*的安全標(biāo)準(zhǔn)
NRTL/SEMI-S2/CE

應(yīng)用

■半導(dǎo)體生產(chǎn)

■電子槍排氣、電離源排氣

■FPD制造

■表面處理、表面改性

■各種電子元件的制造

■燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

■加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

■熱處理

■研究與開(kāi)發(fā)
*TG-F、TG-M、TGkine系列可用于清潔工藝。

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線(xiàn)

• 控制器

*1 ： 使用500L/min的前級(jí)真空泵時(shí)。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對(duì)應(yīng)氣體]

某些類(lèi)型的要排出的氣體可能會(huì)損壞泵。請(qǐng)聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類(lèi)型的列表。