40kHZ/13.56 MHz VGB系列手套箱等離子清洗機(jī)

價(jià)格

電議

型號(hào)

VGB3/VGB3Plus

品牌

CIF

所在地

上海市松江縣

更新時(shí)間

2025-08-06 11:50:03

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CIF推出VGB系列手套箱等離子清洗設(shè)備，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更適合手套箱內(nèi)使用。安裝簡(jiǎn)單方便，性能穩(wěn)定，實(shí)用性強(qiáng)，容易維護(hù)。

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品型號(hào)：

VGB3/VGB3Plus

一、應(yīng)用領(lǐng)域

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、新能源、線路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。

二、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	VGB3	VGB3Plus
艙體尺寸	D200XΦ155mm	D200XΦ155mm
艙體容積	3.8L	3.8L
艙體材質(zhì)	不銹鋼	不銹鋼
射頻電源	40KHz	13.56MHz
匹配器	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配
激發(fā)方式	電容式或電感	電容式
射頻功率	0-500W可調(diào)	0-150W可調(diào)
氣體控制	雙浮子流量計(jì)（標(biāo)配）
有效處理尺寸	L200xW155mm
時(shí)間設(shè)定	9999秒
真空泵	抽速4m3/h
氣體穩(wěn)定時(shí)間	1分鐘
真空度	100pa以?xún)?nèi)
電源	AC220V 50/60Hz 666/316W
艙體尺寸	L235xW345xH245mm
控制尺寸	L330xW490xH190mm
包裝尺寸	L450xW640xH690mm
整機(jī)重量	25kg

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