百級(jí)電子廠廠房環(huán)境潔凈檢測(cè) 檢驗(yàn)規(guī)則--安衡檢測(cè)
電子潔凈車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
噪聲:一般情況下可只檢測(cè):A聲級(jí)的噪聲,必要時(shí)可采用帶倍頻程分析儀的聲級(jí)儀,按中心頻率63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz的倍頻程檢測(cè),測(cè)點(diǎn)附近1m內(nèi)不應(yīng)有反射物。聲級(jí)計(jì)的小刻度不宜低于0.2dB(A)。測(cè)點(diǎn)距地面高度1.1m。面積在15m2以下的潔凈室,可只測(cè)室中心1點(diǎn),15m2以上的潔凈室除中心1點(diǎn)外,應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1m,測(cè)點(diǎn)朝向各角。當(dāng)為混合流潔凈室時(shí),應(yīng)分別測(cè)定單向流區(qū)域、非單向流區(qū)域的噪聲。有條件是,宜測(cè)定空調(diào)凈化系統(tǒng)停止運(yùn)行后的本底噪聲,室內(nèi)噪聲與本底噪聲相差小于10dB(A)時(shí),應(yīng)對(duì)測(cè)點(diǎn)值進(jìn)行修正:相差(6~9)dB(A)時(shí)減1dB(A),相差(4~5)dB(A)時(shí)減2dB(A),相差3dB(A)時(shí)減3dB(A),相差小于3dB(A)時(shí)測(cè)定值無(wú)效。
電子廠廠房環(huán)境潔凈檢測(cè) 因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō),電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),能有效消除靜電,讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。
在電子潔凈廠房高能效過(guò)濾器的應(yīng)用上,電子凈化工程嚴(yán)格依照規(guī)定在潔凈度10萬(wàn)級(jí)或高于10萬(wàn)級(jí)以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高能效過(guò)濾器的三個(gè)等級(jí)過(guò)濾。而我們?cè)谀碀崈艄こ舔?yàn)證過(guò)程中,某電子潔凈廠房工程在萬(wàn)級(jí)的凈化級(jí)別上,采用亞高能效空氣過(guò)濾器代替高能效空氣過(guò)濾器,造成了潔凈度不合格,*終更換了高能效過(guò)濾器,才符合需要達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。
監(jiān)測(cè)方法有沉降菌法、定量空氣浮游菌采樣法和表面取樣法(如棉簽擦拭法和接觸碟法)等。動(dòng)態(tài)取樣應(yīng)當(dāng)避免對(duì)潔凈區(qū)造成不良影響。成品批記錄的審核應(yīng)當(dāng)包括環(huán)境監(jiān)測(cè)的結(jié)果。對(duì)表面和操作人員的監(jiān)測(cè),應(yīng)當(dāng)在關(guān)鍵操作完成后進(jìn)行。在正常的生產(chǎn)操作監(jiān)測(cè)外,可在系統(tǒng)驗(yàn)證、清潔或消毒等操作完成后增加微生物監(jiān)測(cè)。
4、溫濕度:溫濕度是電子無(wú)塵車(chē)間檢測(cè)中必須進(jìn)行重要關(guān)注的,也是大部分室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境都需要檢測(cè)的項(xiàng)目。另外,根據(jù)行業(yè)和需求的不同,有些無(wú)塵車(chē)間需要檢測(cè)的項(xiàng)目還包括照明、噪音、微生物等。
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